KryształTrzy cele magnetron rozpylacz

Numer modelu:VTC-600-3HD

Przegląd produktu:

VTC-600-3HD trójcelowy magnetron rozpylaczzuiNowo opracowane urządzenia do powlekania mogą być używane do przygotowania jednowarstwowej lub wielowarstwowej folii ferroelektrycznej, folii przewodniczej, folii stopowej, folii półprzewodnikowej, folii ceramicznej, folii medialnej, folii optycznej, folii tlenkowej, twardej folii, folii politetrafluoroetylenowej itp. W porównaniu do tego samego rodzaju urządzeń, nie tylko jest szeroko stosowany, ale także ma zaletę niewielkiej objętości i łatwości obsługi, jest idealnym urządzeniem do przygotowywania filmów materiałowych w laboratorium, szczególnie nadającym się do badań laboratoryjnych elektrolitów stałych i OLED.

Główne cechy:

• Można przygotować wiele filmów, szerokie zastosowanie
• Mały rozmiar, łatwa obsługa
• Komora próżniowa, maszyna do zbierania pomp próżniowych z modułową konstrukcją, zasilanie kontrolne jest podzielone, można dostosować zapotrzebowanie na zakup do rzeczywistych potrzeb użytkownika.
• Można wybrać zasilanie w zależności od rzeczywistych potrzeb użytkownika, można sterować wieloma pistoletami celowymi z jednym zasilaniem lub z wieloma pistoletami celowymi z jednym zasilaniem.

Głowica natryskowa magnetronowa：

• W urządzeniu są zainstalowane 3 głowice rozpylające magnetron i wszystkie są wyposażone w warstwę chłodzoną wodą
• Jedna z głowic rozpylania jest podłączona do zasilania częstotliwości radiowej, głównie rozpylanie celów izolacyjnych
• Inna głowica rozpylania podłączona do zasilania prądu stałego, główny cel przewodni rozpylania
• Wymagania dotyczące rozmiarów celów: średnica 50 mm, grubość 0,1-5 mm (różnią się grubości ze względu na różne materiały docelowe)
• Kabel RF można zamówić osobno jako zapas
• Urządzenie zawiera chłodnicę wodną do chłodzenia głowicy docelowej

Stacja próbkowa：

• Rozmiar nośnika: φ140mm (zuiMożna umieścić podłogę 4'
• Przenośnik może się obracać z prędkością od 1 do 20 obrotów na minutę (regulowalny)
• Stacja próbkowazuiWysoka ogrzewalna temperatura 500°C

Komora próżniowa：

• Przedmiot próżniowy: φ300 mm × 300 mm H, ze stali nierdzewnej
• Okno widzenia: Φ100 mm
• Otwieranie komory z góry, dzięki czemu zmiana celu jest łatwiejsza

Kontroler przepływu gazu：

• 2 przepływomierze masy zainstalowane wewnątrz urządzenia, zakres pomiaru: 0-100sccm
• Ustawienie przepływu gazu można obsługiwać na 6-calowym ekranie dotykowym
• Do pracy tego systemu wymagany jest gaz Ar, a na butelkach jest zainstalowany zawór zmniejszający ciśnienie (nie jest zawarty w urządzeniu)

System próżniowy：

• System pompy molekularnej GZK-103D (produkcja w Niemczech)
• Standardowa granica 5E-5mbar 7.4E-6mbar

Grubość filmu：

• Precyzyjny kwarcowy wibracyjny grubościomier zainstalowany na urządzeniu umożliwia monitorowanie grubości folii w czasie rzeczywistym z rozdzielczością 0,10 Å
• Wyświetlacz LED wyświetla, a także wprowadza dane dotyczące wytworzonej folii

Wymiary produktu：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• Waga netto: 160 kg

KryształTrzy cele magnetron rozpylacz

Numer modelu:VTC-600-3HD

Certyfikat jakości:Certyfikat CE

Użyj wskazówek：

• To urządzenie jest urządzeniem DIY, parametry zmieniają się znacznie przed zakupem, należy skontaktować się z telefonem
• Aby uzyskać lepszą jakość filmu, należy wprowadzić gaz o wysokiej czystości (zalecane > 5N)
• Upewnij się, że głowica rozpylania, cel, podłoża i stoł próbek są czyste przed rozpylaniem powłoki
• Aby osiągnąć dobre połączenie filmu z podłożem, czyść powierzchnię podłoża przed rozpylaniem
• Czyszczenie ultradźwiękowe (szczegółowe parametry kliknij na poniższym zdjęciu): (1) ultradźwięki acetonowe (2) ultradźwięki izopropanolowe - usuwanie oleju (3) dmuchanie azotu do suszenia (4) piec próżniowy do usuwania wilgoci.
• Czyszczenie plazmowe: może być szorstwa powierzchnia, może aktywować wiążenia chemiczne powierzchni, może usunąć dodatkowe zanieczyszczenia.
• Produkcja cienkiej warstwy buforowej (około 5 nm): takie jak Gr, Ti, Mo, Ta, mogą być stosowane do poprawy przyczepności metali i stopów.

Ostrzeżenie：

• Uwaga: produkt jest zainstalowany wewnątrz elementów wysokiego napięcia, zabronione jest samodzielne demontaż, napędowe urządzenia mobilne
• Zawór zmniejszający ciśnienie powinien być zainstalowany na butelku gazowym (standardowe wyposażenie nie jest włączone), aby zapewnić, że ciśnienie wyjściowe gazu jest ograniczone do 0,02 MPa.Poniżej, aby bezpiecznie używać
• Głowica rozpylacza podłączona do wysokiego napięcia. Dla bezpieczeństwa operator musi próbować i wymienić cel przed zamknięciem urządzenia.